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华中科技大学博士研究生入学考试《微纳制
造技术》考试大纲
(科目代码:3558)
一、 考试性质及对象
本课程考试是为电子封装专业招收博士生而设置,其评价标
准是高等学校硕士毕业生能达到的及格或及格以上水平,考试对
象是参加博士研究生入学考试的具有硕士学位或具有同等学力的
在职人员。
二、 考试的学科范围
应考范围:微电子制造科学原理与工程技术,MEMS 制造技
术。
三、 评价目标
考查考生了解和掌握微纳制造原理与工艺的能力。
四、 考查要点
1. 微纳制造概况
2. 微电子制造技术
3. 体微加工技术
4. 表面微纳加工技术
5. 纳加工技术
五、 样题(略)

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