微机电系统及纳米技术学科硕士研究生培养方案

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　　学科代码　080220

　　英文名称　MEMS and Nano Technologies

　　一、研究方向及主要内容简介

研　究　方　向	主要内容简介
微机电系统集成设计与制造技术　　（08022001）　　Integrated Design and Manufacturing Technology of MEMS	1．MEMS集成设计技术　　2．系统级建模　　3．多域耦合分析　　4．微加工工艺模拟和工艺设计　　5．测量与控制电路技术
纳米机电系统与纳米机械　　（08022002）　　NEMS and Nanomachines	1．纳米机电系统　　2．纳米结构的加工技术　　3．纳米机电系统的设计、分析与控制技术
纳米测量与虚拟仪器　　（08022003）　　Nano Metrology and Virtual Instrument	1．虚拟仪器检测自动化　　2．动态检测与故障诊断技术　　3．精密测试与传感器技术　　4．纳米检测技术　　5．微结构图像测量与处理技术
微型制造系统及其相关技术　　（08022004）　　Micro Fabrication System	1．微型制造系统　　2．激光微细加工技术　　3．微装配技术　　4．微机器人
微/纳米生物医学信息技术　　（08022005）　　Micro/nano Technology for Biomedical Engineering	1．生物医学用微纳米传感器　　2．生物医学用微纳米致动器　　3．生物医学信息的获取与操纵技术　　4．生物芯片

二、学分及课程学习要求

　　总学分数28～34，其中公共课8学分，基础理论课至少5学分，专业基础课至少6学分，专业课至少9学分

　　1．公共课（8学分，必修）

课程编号	课　程　名　称	学时	学分	开课学期	考核方式
13M001	科学技术哲学	54	2.0	1，2	考试
13M002	科学社会主义的理论与实践	36	1.0	1，2	考试
13M003	英　语（一外）	144	4.0	1，2	考试
**M900	专业外语	40	1.0	3	考试
注：M900代表各学院的专业外语必修课（其中分别代表各学院代号）

　　2．基础理论课（在下列课程中至少选5学分）

　　3．专业基础课（在下列课程中至少选6学分，其中A必选）

课程编号	课　程　名　称	学时	学分	开课学期	考核方式	备注
08M001	现代数字信号处理	60	3.0	1	考试
11M007	光电子技术	60	3.0	1	考试
046001	功能材料性能与测试	40	2.0	2	考试
046007	薄膜材料与技术	40	2.0	2	考试
056008	传感器及测试仪器	40	2.0	1	考试


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