本学科建于70年代，80年代开始培养硕士研究生，2001年获博士学位授权，现设有陕西省半导体功能材料及设备工程中心、陕西省军民两用集成电路设计中心等研究机构。现有教授8人，副教授6人。该学科领域的著名学者王守觉院士等任兼职教授。目前有在校博士生15名，硕士生40名。

　　多年来本学科跟踪微电子学与固体电子学学科最新发展动态，致力于新型半导体材料与新器件、大规模集成电路设计与制造技术、电力电子器件与电路、光电子器件和集成光学器件的研究和开发。承担多项国家自然科学基金项目、国家科技攻关项目、国家863科技计划及省部级等科研课题。近五年科研经费600多万元，发表学术论文200余篇，其中SCI、EI收录论文60余篇，出版专著5部。